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10702A，干涉仪，平面镜，线性，差分，1 轴，6 mm 光束，激光干涉仪定位测量，10702
Keysight 10702A 线性干涉仪是用于线性测量的基础型干涉仪，可执行一般的单轴测量。
10702A 包括一个 10703A 逆向反射镜，作为参考反射镜。 它还需要另一个 10703A，即可组成完整的线性测量光学仪器 干涉仪不能用来弯曲光束。 如果干涉仪是移动器件，则必须订购 10702A 选件 001。 关于 10703A 逆向反射镜的详细信息
差分操作要求移除 10703A 逆向反射镜并将其连接至感兴趣的参考平面。
平面镜操作要求使用 10722A 平面镜转换器和 10703A 逆向反射镜。 添加这些部件可将 10702A 变成 10706A 平面镜干涉仪。 这些部件可测量平面镜的轴向位移。 关于 10722A 平面镜转换器的详细信息
10702A 还可通过添加一个 10722A 平面镜转换器和一个 10723A 高稳定度适配器，转变成 10706B 高稳定度平面镜干涉仪。 关于 10702A 高稳定度适配器的详细信息
- 应用： 通用
- 迥然不同的新特性： 低成本
- 轴数： 1
- 最大光束直径： 6 mm
- 光束隔离： 12.7 mm（0.5 英寸）
- 重量： 232 克（8.2 盎司），配有选件 001 时：246 克（8.7 盎司）
- 基本光分辨率： λ/2（316.5 nm，12.5 µin）
- 系统分辨率： λ/64（10 nm，0.4 µin），使用 32 倍电子分辨率扩展
- 系统分辨率： λ/512（1.2 nm，0.047 µin），使用 256 倍电子分辨率扩展
- 反射镜： 10703A
- 使用的安装架座： 10711A
- 参考： 无
- 可调谐配置： 支持。 需要选件 001
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