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HIGHLIGHTS
Keysight 10774A 短距离直线度光器件结合了直线度干涉仪和反射镜，可在最长 3 米（10 英尺）的行程距离内进行测量。该光器件构成了一个高精度的光学直尺，可以测量机床行程和坐标测量机运动的直线度，分辨率达到 0.04 微米（1 微英寸）。
除了 Keysight 10774A（在 Keysight 5530 激光校准系统中使用）之外，您还可以使用其他许多元器件对干涉仪系统进行量身定制，以满足各个应用的物理版图和测量要求。
- 直线度测量精度
- 总体精度 = 光参考精度 + 测量精度
- 与使用直尺和指示器测量直线度的传统方法类似，光参考精度相当于直尺精度，而测量精度相当于指示器精度
- 光参考精度
- 直尺（反射镜）反转技术可消除光参考不确定度
- 公制单位模式：0.15 M2 µm
- 英制单位模式：0.5 F2 µin
- 测量精度
- 温度范围显示值：0 µm 至 10 µm，10 至 1,500 µm
- 0 µm 至 400 µm，400 至 60,000 µm
- 15° C 至 25 °C，±3.5% ±1% ±0.25 µm（10 µin）
- 0° C 至 40° C，±6% ±1% ±0.5 µm（20 µin）
- 直线度测量分辨率
- Keysight 5519A、Keysight 5519B
- 短距离：0.01 µm（0.4 µin）、0.04 µm（1.4 µin）
- 直线度测量范围（正交至轴向移动）
- ±1.5 mm（0.060 英寸）
- 轴向分离（移动）
- （干涉仪和反射镜之间的距离，典型值，经过恰当的对准，15°C 至 25°C）：
- 短距离光器件：0.1 m 至 3 m（4 英寸至 120 英寸）
- 高分辨率平面镜
- 与对准激光源相比更精确，对空气扰动的灵敏度更低
- 单独提供或作为 Keysight 55283A 直线度测量套件的一部分提供
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