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特点
一般特性
- 使用线性光纤时的最大速度：711 m/s
- 参考频率：2.4 至 3.0 MHz
- 重量：3.2 kg（7 磅）
- 预热时间：45 分钟（风扇和排气装置连接到通风盖）
激光束
- 直径：6 mm；选件 003：3 mm；选件 009：9 mm
- 最小输出功率：180 µW
- 输出功率：1 mW
- 光束高度：80.8 ± 1.0 mm
输入功率要求
- 2.2 A 时为 +15 V ± 0.3 V（最大值）
- 0.03 A 时为 -15 V ± 0.3 V（最大值）
Keysight 5517CL 主要用于基于 VME 和 PC 的激光干涉仪系统，这些系统的运动速度较快，例如半导体光刻和平板显示器应用。 选件 009 提供 9 毫米直径的光束，可以与三轴干涉仪配合使用，进行更大角度范围的测量。 请联系是德科技了解定制要求。
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