特点

一般特性

  • 线性光学的最大速度:1.2 m/s
  • 参考频率:>= 4.4 MHz;选件 300:5 MHz
  • 重量:3.2 千克(7 磅)
  • 预热时间:45 分钟(风扇和排气装置连接到通风盖)

激光束

  • 直径:6 mm;选件 009:9 mm
  • 最小输出功率:180 µW(三年后为 120 µW);选件 300:80 µW(三年后为 50 µW)
  • 最大输出功率:1 mW;选件 300:220 µW
  • 光束高度:80.8 ± 1.0 mm

输入功率要求

  • +15 V ± 0.3 V(3.0 A 最大值)
  • -15 V ± 0.3 V(0.3 A 最大值)

Keysight 5517DL 主要用于 VME 和基于 PC 的激光干涉仪系统等运动速度更快的应用,例如半导体光刻和平板应用。 请联系是德科技了解定制要求。

详细了解 激光干涉仪定位测量系统

主要技术指标

Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 180
Reference frequency (MHz)
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
1329**
> 180
>= 4.4
90 (*45)
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Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 180
Reference frequency (MHz):
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)

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