WAFERPRO EXPRESS 2015.01 简介

全新的 WaferPro Express 2015.01 软件平台专门用于协助工程师有效地执行自动化晶圆级测量。WaferPro Express 帮助工程师降低晶圆级测量系统的复杂性，让他们能够快速设定和执行测试计划，以便分析测量数据。WaferPro Express 能够驱动是德科技仪器（和选定的非是德科技仪器）和探针台控制软件（包含温度控制），并提供出色的数据处理和显示功能。

WaferPro Express 是我们与 Cascade Microtech 携手合作的产物，也是晶圆级测量解决方案（WMS）的核心软件。WMS 配置包含是德科技仪器和软件、Cascade Microtech 晶圆探头台、附件和软件。利用新的 Keysight Verification Substrate（KVS），工程师可以快速验证初始安装完毕的 WMS 系统。每一套 KVS 已全面通过晶圆厂表征，并配备标准装置，让工程师能够在完成射频校准后使用 G-S-G 探头来进行探测。WaferPro Express 2015.01 可以在初始系统验证过程中测量 KVS，然后，借助比较测量数据和晶圆厂数据，来确认系统是否正常运作。如欲了解 WMS 的更多信息，请参考晶圆级测量解决方案 – Cascade Microtech。

WaferPro Express 2015 的一项重大突破是，它与 Cascade Microtech 的 Velox 2.0 探针台控制软件进行了独家整合。通过 Cascade Microtech 与是德科技联合开发的 WaferSync，WaferPro Express 和 Velox 2.0 可以整合在一起。WaferSync 支持完整的晶圆图同步功能，以提供简单、无误差的软件信息交换，包括晶圆对准、位点和裸片信息。

为了全面提高射频测量效率，WaferPro Express 定期监测射频校准的稳定性，以便尽可能缩短收集不准确数据的时间。

WaferPro Express 2015 其他的新特性包括：支持通过 Keysight PNA-X 进行噪声系数测量，并能导入使用 Keysight IC-CAP 建模和测量软件开发的测试例程。

下文概述了 WaferPro Express 2015.01 的两个主要特性。有关 WaferPro Express 2015.01 的更多信息，包括最新特性，请访问 WaferPro Express 2015.01 最新产品。

WaferPro Express 和 Velox 2.0

Velox 2.0 是 Cascade Microtech 新推出的探头台控制软件，可用于 Cascade 的半自动和全自动探头台（SUMMIT、Elite300 和 CM300）。通过基于 LAN 的双向通信链路 WaferSync，WaferPro Express 2015.01 和 Velox 2.0 可以整合在一起。WaferPro Express 可以安装在 Cascade 控制器 PC（Windows 7）或单独的 Windows/LINUX PC 内。

WaferSync，WaferPro Express 可以直接连接到 Velox 通信服务器，大幅提升了整合程度。现在，Velox 和 WaferPro Express 的晶圆图和次位点表之间可能实现信息交换。通过连用 WinCal 软件，WaferPro Express 还能监测在测试计划长期执行过程中的校准稳定性；一旦发现校准结果不准确，WaferPro Express 将会暂停测试计划，然后向用户发送邮件信息，从而使用户能够及时地采取措施。

下图显示了 Velox 和 WaferPro Express 晶圆图。通常，用户可能会首先使用 Velox 进行晶圆对准，然后在 Velox 环境中生成一个晶圆图。晶圆图信息（包括裸片选择、索引和参考）可以通过单击一个按钮导入到 WaferPro Express，准备用于创建测试计划。

图 1：WaferPro Express 和 Velox 2.0 晶圆图的同步。

如欲查看 WaferPro Express 和 Velox 2.0 的实践应用，请观看“如何实现精确的自动化晶圆级射频测量”视频。

导入在 IC-CAP 中的测试例程

WaferPro Express 中的测试例程相当于一个通用 IC-CAP 被测器件。IC-CAP 用户可以获得 IC-CAP 项目扩展库，其中典型的测量测试已经实施，包括：使用几行 PEL 代码对测量数据进行后期处理。使用 WaferPro 2015.01，用户现在可以充分利用现有的 IC-CAP 配置，快速加载这些测试例程以创建一个测试计划。新的用户界面允许用户加载 IC-CAP MDL 或被测器件文件，选择和导入特定的例程到 WaferPro Express 程序库。

图 2：新的“Select Routines from File（从文件中选择测试例程）”对话框支持轻松导入 IC-CAP 例程。

快速入门

如果您已经准备好开始使用 WaferPro Express，请申请软件免费试用版。