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HIGHLIGHTS
Keysight 10775A 结合了直线度干涉仪和反射镜，可在 1 至 30 米（3 英尺至 100 英尺）的行程距离内进行测量。该光器件构成了一个高精度的光学直尺，可以测量机床行程和坐标测量机运动的直线度，分辨率达到 0.1 微米（10 微英寸）。
除了 Keysight 10775A（与 Keysight 5530 激光校准系统配合使用）之外，您还可以使用其他许多元器件对干涉仪系统进行量身定制，以满足各个应用的物理版图和测量要求。
- 直线度测量精度
- 总体精度 = 光参考精度 + 测量精度
- 与使用直尺和指示器测量直线度的传统方法类似，光参考精度相当于直尺精度，而测量精度相当于指示器精度
- 光参考精度
- 直尺（反射镜）反转技术可消除光参考不确定度
- 公制单位模式：±0.015 M2 µm
- 英制单位模式：±0.05 F2 µin
- 其中：
- M = 运动光器件的行程距离（单位：米）
- F = 运动光器件的行程距离（单位：英尺）
- 测量精度
- 温度范围显示值：
- 0 µm 至 100 µm，100 至 1,500 µm
- 0 µm 至 4000 µm，4000 至 60,000 µm
- 15° C 至 25° C，±5% ±2.5% ±02.55 µm（10 µin）
- 0° C 至 40° C，±7.5% ±2.5% ±5 µm（20 µin）
- 直线度测量分辨率
- Keysight 5519A、Keysight 5519B
- 0.1 µm（4 µin）、36 µm（14 µin）
- 直线度测量范围（正交至轴向移动）
- ±1.5 mm（0.060 英寸）
- 轴向分离（移动）
- （干涉仪和反射镜之间的距离，典型值，经过恰当的对准，15°C 至 25°C）：1 m 至 30 m（3 英尺至 100 英尺）
- 对空气扰动的灵敏度较低，可以提供高度精确的测量
- 可与 Keysight 55283A 直线度测量套件配合使用，以扩展距离范围
- 高分辨率平面镜
- 适用于是德科技的各种系统（包括 Keysight 5530 激光校准系统）
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