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N9201A 阵列结构参数测试系统[断货]

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概述和特性
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资源

HIGHLIGHTS

General Features

Option for 4070 Series of parametric testers
Multi-channel SMU measurement capability
One pass platform on 4070 Series
Concurrent TEG test/measurement

Measurement Capabilities

Up to 40 SMU channels
5 picoamp and 100 microvolt measurement resolution
Address signal generation
SMU embedded program memory for concurrent measurement

Application for BEOL/Yield Ramp U

Good for BEOL TEG testing (Resistor,Vth,etc.)
Concurrent measurement resource for High/Low resolution TEG part
Improve existing 4070´s throughput drastically for BEOL TEG testing

Addressable Array Test Structure

Address Generation Function on Parametric Tester
SPC (Statistical Process Control) for DFM
Up to 32 bit parallel address signal generation
Up to 8 V/125 mA/50 kbps address signal generation

支持多达 40 个 SMU，可对在线阵列测试结构进行极快的表征。

排序依据 :

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