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HIGHLIGHTS
- 在不同温度条件下进行全自动单晶圆和多晶圆测量
- 为最常用的探针台、开关矩阵和热控卡盘提供驱动程序
- 支持全晶圆映射
- 通过 Keysight 407X 和 408X 参数测试系统支持快速测量
- 包括许多预定义的示范测试计划，可以快速、轻松、高效地开始测试
- 无需操作人员监管，晶圆可随温度变化自动进行调整
- 无需中断测试，即可实时查看测量结果、状态、数据和绘图
- 在执行过程中监测位置、状态、结果和数据；通过电子邮件接收更新
- 按照用户定义的合格/不合格标准，完美地进行异常处理
- 先进的体系结构支持高效的数据组织以及快速的数据分析和处理
- 在不同的测试站上使用不同的硬件无缝地运行测试计划
- 支持广泛的直流/CV 和射频测量
- 支持测量任意 n 端子器件（MOS、二极管、无源器件等）
- 能够以多种文件格式（.mdm 和 .csv）保存文件
- 具有测试模式（运行仿真而不是测量）和后期处理模式，可以提高测试和开发的灵活性
- 拥有强大的调试模式，以进一步支持轻松的定制和测试
IC-CAP Wafer Professional 测量软件（WaferPro）是一款完整的自动测量应用软件，可以完全集成到 IC-CAP 平台上，适合从事直流/CV 和射频测量的器件建模工程师使用。WaferPro 由是德科技与主要的半导体公司联合设计。它充分利用了 IC-CAP 强大的测量和编程环境，支持高效的测量程序库（内置或用户自定义），例如自适应测量算法。这些算法可显著缩短总体测量时间并提高效率。它的操作极为简单并支持定制，具有足够的灵活性，可以适应各种测试和测量环境并进行相应优化。
IC-CAP WaferPro 是一款结合了 IC-CAP 和其他测试设备的测量解决方案，能够有效地协调完整的测试环境，控制和指定晶圆映射、器件、测试条件、校准和要收集的数据。它可以自动保存数据文件，并且支持各种文件格式。
WaferPro 可轻松进行导航和定制。对于典型的测试计划项目，用户可首先定义晶圆映射，然后指定晶圆特征，例如裸片和衬底位置、被测器件的类型和特征，以及按照所用硬件的类型指定的引脚或探测卡参考。然后，用户可以根据测试需求和目的，按照将实施的测量类型（如点、扫描、直流和射频等），对器件进行分组和区分。
用户可在 IC-CAP 模型环境中完整地定制和定义测量程序，并充分利用现有的 PEL 码对测量结果进行后期处理（例如计算 fT、gmax 或 Vt）。在运行测试计划时，屏幕上将出现一个记录窗口，窗口内容会不断更新，显示最新的测量结果。用户可在历史记录中轻松选择某一行，以查看特定器件的测量数据。
总之，IC-CAP WaferPro 能够：
- 为器件建模工程师提供功能强大的测量和表征测试计划套件
- 与多个工作台和测试站即刻配合工作，包括是德科技参数测试仪
- 支持必要程度的定制，最大程度地提高测量效率
- 为先进的统计分析和建模建立基础
返回 IC-CAP 器件建模软件。
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