WaferPro Express 2016.04 简介

WaferPro Express 是一款新软件平台，专门设计用于高效地执行自动化晶圆级测量。

WaferPro Express 帮助工程师降低晶圆级测量系统的复杂性，让他们能够快速设定和执行测试计划，以便分析测量数据。WaferPro Express 能够驱动是德科技仪器（和选定的非是德科技仪器）和探针台控制软件（包含温度控制），并提供出色的数据处理和显示功能。

WaferPro Express 是我们与 Cascade Microtech 携手合作的产物，也是晶圆级测量解决方案（WMS）的核心软件。WMS 配置包含是德科技仪器和软件、Cascade Microtech 晶圆探头台、附件和软件。利用新的 Keysight Verification Substrate（KVS），工程师可以快速验证初始安装完毕的 WMS 系统。每一套 KVS 已全面通过晶圆厂表征，并配备标准器件，让工程师能够在完成射频校准后使用 G-S-G 探头来进行探测。WaferPro Express 2016.04 可以在初始系统验证过程中测量 KVS，然后，通过比较测量数据和晶圆厂数据，来确认系统是否正常运作。如欲了解 WMS 的更多信息，请参考晶圆级测量解决方案 – Cascade Microtech。

WaferPro Express 2016.04 进一步改善了与 Cascade Microtech Velox 2.0 探头台控制软件所独有的集成度。通过 Cascade Microtech 与是德科技联合开发的 WaferSync，WaferPro Express 和 Velox 2.0 可以整合在一起。WaferSync 支持完整的晶圆图同步功能，以提供简单、无误差的软件信息交换，包括晶圆对准、位点和裸片信息。

虽然以前版本添加了直接从 IC-CAP 导入例程的功能，不过 WaferPro Express 2016.04 更进一步增加了各种新器件类型、测试例程和示例等。现在还首次提供了 Python 示例。此外添加了新的 PEL 和 Python 教程。它们介绍了编程如何帮助用户定制例程数据分析，或用客户的测量算法代替内部仪器驱动程序。

WaferPro Express 2016.04 现在能够运行部分测试计划。当用户在整个晶圆运行完毕后想要重复某些测量时，这个特性尤其有用。

下面概括介绍了 WaferPro Express 的两大关键特性。有关 WaferPro Express 2016.04 的其他信息和详细说明，包其新特性，可以在 WaferPro Express 2016.04 主要功能特性和新增内容中找到（PDF，1.79 MB）。

WaferPro 和 Velox 2.0

Velox 2.0 是 Cascade Microtech 新推出的探头台控制软件，可用于 Cascade 的半自动和全自动探头台（SUMMIT、Elite300 和 CM300）。通过基于 LAN 的双向通信链路 WaferSync，WaferPro Express 2016.04 改善了与 Velox 2.0 的连接。WaferPro Express 可以安装在 Cascade 控制器 PC（Windows 7）或单独的 Windows/LINUX PC 内。

通过使用 WaferSync，WaferPro Express 可以直接连接到 Velox 通信服务器，大幅提升了整合程度。现在，Velox 和 WaferPro Express 的晶圆图和次位点表之间可能实现信息交换。通过连用 WinCal 软件，WaferPro Express 还能监测在测试计划长期执行过程中的校准稳定性；一旦发现校准结果不准确，WaferPro Express 将会暂停测试计划，然后向用户发送邮件信息，从而使用户能够及时地采取措施。

下图显示了 Velox 和 WaferPro Express 晶圆图。通常，用户可能会首先使用 Velox 进行晶圆校准，然后在 Velox 环境中生成一个晶圆图。点击一个按钮，可以将晶圆图信息（包括裸片选择、索引和参考）导入到 WaferPro Express 中，准备用于创建测试计划。WaferPro Express 2016.04 进一步改进了这一特性，现在从 Velox 导入的晶圆图包括裸片图圆点、方向和参考裸片。

图 1：WaferPro Express 和 Velox 2.0 晶圆图的同步。

如欲查看 WaferPro Express 和 Velox 2.0 的实践应用，请观看“如何实现精确的晶圆级射频测量”视频。（需要链接）

运行部分测试计划

WaferPro Express 2016.04 中一个重要的新特性是，它能够运行部分测试计划。在运行了一个测试计划之后，用户可以根据前次运行的结果来决定重复运行某些测量。通过在“开始测试计划”对话框中启用“运行控制器”，用户可以确定是只按顺序运行一部分器件，还是重复运行特定裸片。前次运行测量的结果在最后一栏报告，方便用户查看。图 2 显示了运行控制器的屏幕快照。

图 2：新的“使用运行控制器”复选框使用户可以定义运行的部分测试计划。

快速入门

如果您已经准备好开始使用 WaferPro Express，请索取软件免费试用版。