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cog 技术资料

The Keysight 55280A Linear Measurement, used with the Keysight 5530 Laser Calibration System, includes the optical equipment needed to measure linear distance (displacement) and velocity...

HIGHLIGHTS

测量范围

  • 使用线性光纤时，高达 40 米（130 英尺）
  • 使用长距离选件时，高达 80 米（260 英尺）

精度

  • 温度范围：0 - 40ºC（32 - 104°F）
  • E1738A 空气传感器：±0.4 ppm
  • 真空†：±0.1（±0.02）ppm

† 如果依照军用标准 45662A 校准 5519A/B 激光头，在真空中的精度为 ±0.02 ppm

分辨率

  • 线性光纤（10766A）：1 nm（0.04 µin）
  • 平面镜光纤（10706A/B）*：0.5 nm（0.02 µin）
  • 高分辨率平面镜光纤（10716A）*‡：0.25 nm（0.01 µin）

* 需要 10724A 平面反射镜。由于这些光器件的校准比线性光器件要灵敏得多，因此通常推荐使用线性光纤
‡ 10716A 的孔径距离为 12.7 mm，其中 5519A 为 11 mm

Keysight 55280A 线性测量套件（与 Keysight 5530 激光校准系统结合使用）包括测量线性距离（位移）和速度时所需要的光学设备。该套件由一台 Keysight 10766A 线性干涉仪、两台 Keysight 10767A 线性反射镜、安装硬件和运输箱组成。

该系统可以测量干涉仪与反射镜之间的距离变化。在移动之前，可以将任意一个点定义为测量起点。

Keysight 55280A 可以校准数控机床和坐标测量机的定位精度。凭借卓越的精度和分辨率，它还可以当作实际标准件，对长度标准件进行校准。

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