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4881HV 高压晶圆测试系统

是德科技4881HV高压测试系统是一款突破性解决方案，可进行高达3千伏的参数测试，支持单次通过测试中的高压(HV)和低压(LV)测试。

产品图片

  • 其他特性

    高压直流测量 

  • 最大测量引脚数

    29

  • 最小电压测量分辨率

    2 微伏

  • 最小电流测量分辨率

    10 fA

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关键性能

是德科技4881HV高压晶圆测试系统是突破性解决方案，可进行高达3千伏的参数测试，支持单次通过完成高压（HV）和低压（LV）测试。

  • 配置高压开关矩阵，支持最多29个引脚，并在任意输出引脚上灵活实现3千伏电压。
  • 将高压和低压源/测量单元组合，实现精确的电流-电压测量，分辨率可达亚皮安级。
  • 进行高达1千伏直流偏压的高压电容测量。
  • 满足法规要求，例如工厂强制规定和SEMI S2合规性。
  • 为200毫米/300毫米探针台及工厂自动化提供支持。

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