- 概述
- 所有型号
- 支持
高隔离开关技术，适用于超低电流、高阻抗测试
KEYSIGHT 低漏电开关矩阵专为需要超低电流测量和高隔离性能的自动化半导体测试而设计。旨在保持飞安级信号完整性，这些开关矩阵可在多个设备或测试节点之间实现无缝切换，同时不影响测量精度。凭借灵活的配置、紧凑的外形尺寸以及与 KEYSIGHT 分析仪的轻松集成，它们是参数测试、可靠性研究和晶圆级表征的理想选择。立即申请我们热门配置的报价。需要帮助选择？请查看以下资源。
飞安级隔离
通过采用最小化漏电流的开关路径，确保超低电流测量的完整性，特别适用于进阶 材料的精密测量。
灵活的通道扩展
支持复杂测试配置，可扩展通道数量高达48个输出端口，适用于多引脚器件及晶圆级设置中的自动化测试矩阵。
电容补偿设计
通过专用电容补偿路径确保高阻抗CV测试的准确性，从而降低敏感器件测量中的失真。
无缝集成
可轻松与参数分析仪和半导体器件测试系统集成，通过直观的软件界面控制自动化开关流程。
-
最小电流测量分辨率
1 fA 至 20 fA
-
最大输出端口数
48 至 96
-
隔离
10 TΩ 至 100 TΩ
-
类型
矩阵、矩阵或多路复用器
最受欢迎的配置
低泄漏开关主机
fA级低泄漏开关主机
低漏电开关主机
服务 支持
通过精心策划的支持方案、优先响应机制和快速周转时间，实现高效创新。
获取可预测的租赁式订阅服务和全生命周期管理解决方案——助您更快达成业务目标。
KeysightCare ，享受卓越服务，获得专属技术响应等更多权益。
确保您的测试系统符合规格要求，并满足本地及全球标准。
通过内部讲师指导的培训和在线学习，快速掌握测量技能。
下载是德科技软件或将您的软件更新至最新版本。
常见问题
低泄漏开关矩阵是一种专用的信号路由系统，旨在以高度受控且电气隔离的方式，将精密仪器 源表模块 SMU）、LCR表或电容测量单元）连接至多个器件端子。该系统针对高阻抗测量和超低电流切换（通常在飞安（fA）量级）进行了优化。 该矩阵可实现多引脚器件测试、晶圆探测及可靠性分析的无缝自动化，同时确保敏感IV或CV测量所需的信号完整性。通过实现器件引脚间的无人值守切换，低泄漏开关矩阵最大限度减少了人工重新连接的需求，从而降低测量误差、污染风险并缩短测试时间。
在测量超微弱信号时，漏电流会引入显著误差，尤其在进阶 缩放型半导体器件中——例如栅氧化层、钝化层、薄介质层，以及有机半导体 二维材料等新型材料。此类场景下，目标电流可能仅为飞安或皮安量级，即便通过开关继电器、线缆或连接器的微小泄漏电流也会导致结果失真。 高绝缘电阻（通常>100兆欧）、低介电吸收及优化屏蔽是基础 信号纯基础 低漏电流开关矩阵采用聚四氟乙烯或陶瓷基板，配备屏蔽三轴路径及专用继电器设计，从而抑制寄生电流路径，确保精密测量的完整性。
低泄漏开关矩阵通常集成于参数测试系统、半导体器件分析仪及晶圆探针台，用于自动化电气特性表征。每个矩阵通道通过软件仪器 可编程方式连接器件端子仪器 支持测试序列中的快速重配置。这种集成可实现凯尔文测量、差分测量及多端子IV/CV扫描等进阶 流程。 该矩阵通常通过SCPI命令、基于GUI的软件（如EasyEXPERT）或高吞吐量环境中的自动化框架进行控制。交叉点切换、继电器矩阵映射及高速驱动等特性，可实现开关与测量仪器间的无缝协同，在晶圆级测试或可靠性分析过程中最大限度减少空闲时间并提升吞吐效率。
若干关键参数影响着半导体应用中合适开关矩阵的选择：
- 通道数量与配置：根据应用需求确定所需输入端口（仪器接口）与输出端口（设备连接）的数量。部分型号支持多达48个输出端口，并具备可配置路由功能（例如4x12、8x6）。
- 漏电流与绝缘电阻：进行 超低电流测试时 ，应选用漏电流低于飞安级且绝缘电阻超过100兆欧的矩阵，以避免测量失真。
- 带宽与电容：高速CV测量或射频探测需要充足的信号带宽和低寄生电容。部分矩阵支持高达30 MHz的带宽。
- 接触电阻与继电器寿命：应选择接触电阻低且稳定、采用长寿命簧片式或固态继电器的系统，尤其适用于生产或应力测试环境。
- 电容补偿与屏蔽：寻找专用特性，如主动屏蔽路径或电容校正线，以在高阻抗设置中保持信号保真度。
继电器与屏蔽设计是开关矩阵维持高保真信号通路的核心要素。低泄漏矩阵中采用的机电继电器因其高绝缘电阻、低寄生电容及低介质吸收特性而被选用。许多系统采用密封玻璃外壳的簧片继电器，以最大限度减少污染并提升长期稳定性。 此外，驱动屏蔽、三轴电缆及隔离信号路径等屏蔽技术可保护敏感测量免受外部干扰和接地环路影响。内部PCB布局常采用接地平面和屏蔽走线来控制泄漏路径和信号耦合。合理的屏蔽设计确保矩阵本身不会成为误差源，尤其在测量高阻抗节点或进行低频CV特性分析时。