低泄漏开关矩阵：B2200A| 是德科技Keysight

fA级低泄漏开关主机

B2200A漏电开关主机通过实现自动特性测试功能，在不影响测量性能的前提下降低了测试成本。

最大输出端口数

48
隔离

100 TΩ
类型

矩阵
最小电流测量分辨率

1 fA

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关键性能

一般特性

通过指示灯显示继电器状态，可快速验证和调试测量设置。
支持使用键盘或可选光笔在前面板上进行控制操作
是德科技EasyEXPERT 直观的图形用户界面控制并自动执行开关设置。
优化的 CV 输入包括综合的EasyEXPERT

测量能力

使用 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU，通过开关可实现 1 皮安的测量分辨率。
< 2 秒的瞬时电流稳定时间（< 50 fA）（10 V 输入步进）：这是补充数据
30 MHz 带宽（-3 dB）
为低电流（三轴）路径提供100 T欧姆的通道隔离

体系结构

8路低电流（三轴）输入和6路通用（同轴）输入
模块化设计支持x12、x24、x36和x48三轴输出配置
14条内部路径（无多路复用的输入）
兼容 Keysight B2220A 低泄漏探头卡接口

本页内容：行业挑战 • 摘要 • 特性和优势 • 元器件 • 主要技术指标 • 相关是德产品

B2200A 可自动执行表征测试，从而降低测试成本，同时不会影响半导体参数分析仪的测量性能。它支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表，并可在未来进行扩展。此外，它还具有 14 路输入，每路输入都使用唯一的内部测量路径，其中两路输入还具有特殊的电容测量补偿特性。它还支持脉冲发生器等仪器。用户可使用键盘或可选光笔通过前面板进行操控。

行业挑战

对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量，可能需要耗费大量时间和成本。随着终端用户设备成本持续下降，即使在实验室表征环境中也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探针的开关矩阵，可自动执行表征测试，且每次测试新模块时无需操作人员手动复位探针。这既缩短了测试时间，又节省了测试成本。

许多现有的开关矩阵都存在固有局限性。例如，多数开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能，成为测量链中最薄弱的环节。若内部路径数量不足，开关矩阵将无法支持四端全开尔文测量和电容表功能，且每次将测量模式从IV切换至CV时，都需要耗费大量时间手动更改电缆连接。最后，若开关矩阵无法对电容测量结果进行补偿以消除路径长度造成的测量失真，则这些测量结果也将失准。

摘要

无与伦比的开关矩阵性能

B2200A fA级低泄漏开关主机提供卓越的低电流泄漏和电容测量性能，且不存在其他替代方案的局限性。其支持1 fA级测量能力意味着不会降低半导体参数分析仪的高性能表现。充足的输入通道数量可支持4-SMU全开尔文配置。全部14路输入对应独立内部路径，可实现并行操作。与同类方案不同，其能规避各通道路径长度差异导致的固有误差，确保电容测量结果不受失真影响；此外，系统还提供必要的参数和算法来补偿这些差异。其模块化结构支持12、24、36或48路输出配置，使用起来具有极大的灵活性。30 MHz带宽使其能够配合脉冲发生器等仪器使用。附加的LED显示屏和可通过键盘或可选光笔操作的前面板，使操作人员能够非常灵活地进行操作。

紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
一流的半导体参数分析仪已达到全新性能水平。B2200A 开关矩阵支持 1 fA 测量分辨率，紧跟半导体参数分析仪性能的步伐，同时保持卓越的测量性能。
避免多路复用的测量限制
避免花费很长时间手动切换B2200A的14条内部测量路径，从而延误测量进度。每路输入都有自己唯一的内部路径，使您可以同时使用所有输入。
准确的电容测量
在测量电容时，电缆长度（包括矩阵中的路径）对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入，B2200A 开关矩阵主机——与同类解决方案不同——可以校正因矩阵内部路径长度产生的误差，提供补偿参数以确保测量结果不失真。

特性与优势

特性	优势：
1 飞安（femtoamp）分辨率的电流测量能力	开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。
8路三轴输入和6路BNC输入	支持 4 SMU 完全开尔文配置和电容表，并预留 4 路 BNC 输入接口用于未来扩展；
14条可同时使用的内部路径	使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。
电容测量补偿特性	校正因矩阵内部路径长度产生的误差，使您能够通过开关矩阵准确测量电容。
LED显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板	通过显示矩阵继电器的状态并支持手动更改继电器状态，您能够对测量结构进行离线调试。
30 MHz 带宽	您可以通过 B2200A 开关使用脉冲发生器等仪器。

元器件

B2200A fA级低泄漏开关主机
B2210A fA级低泄漏开关模块

主要技术指标

B2200A
技术指标	值
端口数
I-V 端口	8 个三轴端口（包括 Guard 端口）
AUX 端口	6 个 BNC 端口（其中 2 个为 CV 端口）
输出通道	可使用三轴端口（包括 Guard 端口）、x12、x24、x36 和 x48 配置
插槽数量	4 个插槽，用于插入 48 毫米高的开关模块

B2210A
技术指标	值
最大额定电流
I-V 端口	1.0 A
AUX 端口	0.5 A
最大额定电压
I-V 端口（其他通道）	200V
I-V 端口（通用）	300V
AUX 端口（其他通道）	100V
AUX 端口（通用）	100V
通道隔离
I-V 端口	1 × 10^14（欧姆）
AUX 端口	1 × 10^9（欧姆）
偏置电流（补充）
IV 端口	50 fA
IM噪声（RMS）（补充）
I-V 端口	5 fA
其他电容测量误差（补充）	< ± 1 % + 0.2 pF
带宽（--3 dB 时）	30 MHz
稳定时间（补充）	2.0 秒（50 fA 时）