如何实现全面的在线集成电路结构筛选

电气结构测试仪
+ 电气 结构测试仪

在线结构筛查

在线集成电路(IC)结构筛查是在制造过程中对每个半导体封装进行评估,通过测量电气特性来发现结构异常,从而在最终功能测试之前进行检测。该方法通过识别那些无法通过开路短路测试或有限抽样检查发现的缺陷,对传统的自动测试设备和自动X射线检测形成了补充。

该测量过程采用电容式传感技术,用于分析引线框架和引线键合等内部导电结构之间的耦合现象。通过统计轮廓分析,将每个器件与生产基准进行对比,从而在保持大批量生产线连续检测的同时,自动检测出结构异常。

在线结构筛查解决方案

要实现全面的在线集成电路(IC)结构筛查,必须将高速电气检测系统直接集成到半导体生产流程中,同时不降低生产吞吐量。该解决方案将是德科技(Keysight)的电气结构测试仪与基于电容式无矢量测试的增强型探针技术相结合,可在自动化测试设备测试完成后立即对封装内部结构进行检测。该系统可检测包括引线下垂、近短路、芯片放置错误以及封装结构异常在内的结构缺陷,而这些缺陷仅靠传统的电气或X射线检测可能无法识别。 内置的器件平均测试分析功能可持续监控生产波动,并动态更新筛选限值,从而减少误判。该解决方案支持多达 20 个并行测试工位,吞吐量高达每小时 72,000 件,可为大批量汽车半导体制造提供全面的在线检测,同时减少漏检缺陷并提升产品质量。

参见“在线结构筛查解决方案”的框图

内联IC结构筛选解决方案的框图

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