如何对器件进行250 GHz的特性分析

+ 自 放电分析仪

将宽带特性分析扩展至250 GHz

宽带矢量网络分析仪的测量采用经过校准的测试系统，用于捕获微波、毫米波和亚太赫兹频率范围内的散射参数。工程师将被测设备连接到宽带同轴测量接口，并选择频率范围、端口、激励条件和校准方法。根据网络分析仪的配置不同，测量可从 100 kHz 或 10 MHz 开始，并扩展至 250 GHz。该测量系统由网络分析仪、测试仪控制器、频率扩展器以及兼容的 0.5 mm 校准套件组成。双端口配置用于表征单端器件；四端口配置则支持差分测量。在校准过程中，会在采集器件响应之前建立测量参考平面。

校准完成后，分析仪会扫描配置好的频率范围，并将器件响应记录为一组连续的S参数曲线。工程师可检查整个频率范围内的插入损耗、回波损耗以及传输或反射特性，而无需将单独的波导带测量结果进行综合处理。紧凑型频率扩展器可放置在器件附近，以缩短测试接口与被测器件之间的高频连接距离。对于有源器件，扩展器内置的偏置T型接头可根据器件和测试配置提供所需的偏置连接。通过使用适当的夹具或探针接口，可以对晶圆上的结构、封装、互连、放大器及其他组件进行表征。在整个扫描过程中，测量工作流程始终保持相同的宽带配置。

宽带 250 GHz 矢量网络分析仪表征解决方案

宽带单次扫描S参数表征需要一台经过校准的矢量网络分析仪（VNA）、测试套件控制器、频率扩展器以及合适的器件连接方式。该解决方案结合了兼容的是德科技PNA 或PNA-X分析仪、N5292A测试套件控制器、P9500A频率扩展器集线器以及NA5307A频率扩展器，可实现高达250 GHz的测量。该扩展器采用 0.5 mm 同轴测试端口，可放置在被测设备附近，以缩短高频连接线长度。双端口和四端口配置分别支持单端和差分特性分析。NA5307A 包含用于有源器件测试的偏置 T 型接头，而 85065A 精密机械校准套件支持在宽带接口上进行校准。该宽带矢量网络分析仪配置旨在用于毫米波器件特性分析，以及从微波到亚太赫兹频段的 S 参数测量。

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