如何对光子集成电路进行功能测试

+ 基础源表模块

测试 PIC 的光电性能

光子集成电路的功能测试需要一个同步的测量工作流程，该流程需将光刺激、偏振控制、光功率测量和电学特性分析相结合。典型的测试系统通常采用可调谐激光源对被测器件进行波长扫描，使用自动偏振控制器施加预定义的偏振状态，借助光功率计测量透射或耦合的光功率，并利用源测量单元对有源器件施加偏置并测量产生的电流。这使得波导、光栅耦合器、滤波器和谐振器等无源结构能够与PIN光电二极管等有源器件在同一工作流程中进行评估。

在测试过程中，波长扫描可捕获目标光谱范围内的插入损耗、光谱特征、带宽特性及谐振响应。偏振分辨测量则能清晰呈现横电场和横磁场行为，包括偏振相关损耗和对准灵敏度。对于有源器件的验证，光信号输入至片上光电二极管，同时光源测量单元在工作或偏置条件下记录电流，从而实现响应度和暗电流分析。将这些测量自动化整合到单一流程中，可减少手动设置调整，并有助于在整个光子集成电路测试流程中保持光学与电气结果的一致性。

光子学集成电路测试解决方案

进行光子集成电路的功能测试需要一个同步的工作流程，该流程需结合扫频光刺激、偏振控制、光功率测量以及电学特性分析。该解决方案采用可调谐激光器进行波长扫描，利用偏振控制与测量仪器循环切换预定义的偏振状态，借助光功率计测量光响应，并通过源测量单元记录PIN光电二极管等有源器件的电流。这种配置可在单一自动化测试环境中支持插入损耗、偏振相关损耗、响应度及暗电流的测量。

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