特点

Keysight 10716A 高分辨率干涉仪适用于单轴和多轴测量应用,例如高精度 X-Y 工作台。 10716A 的分辨率是传统平面镜干涉仪的两倍,其出色的热稳定度可与 10706B 高稳定度平面镜干涉仪相媲美。 测量结果漂移通常只有传统平面镜干涉仪的 1/2。 这些特性综合起来,使这款干涉仪的测量准确度、可重复性和热稳定度均大大提高。 不过,其转换速率将减半。

10716A 包含一个 10723A 高稳定度适配器(由高稳定度反射镜和 1/4 波片组成),作为参考;两个逆向反射镜,用于控制光束路径;一个光束转向镜;以及一个 1/4 波片。 用户必须提供测量反射镜,例如 10724A 平面反射镜。

10716A 选件 001 可用于需要干涉仪调谐光束的光学版图。

  • 应用:平面镜,高分辨率
  • 独有的特性:高分辨率
  • 轴数:1
  • 最大光束直径:6 mm
  • 光束间距:12.7 mm(0.5 英寸)
  • 重量:502 g(1 磅 1.7 盎司)
  • 基本光分辨率:λ/8(79.1 nm,3.1 µin)
  • 系统分辨率:λ/256(2.5 nm,0.1 µin),使用 32 倍电子分辨率扩展
  • 系统分辨率:λ/2048(0.31 nm,0.012 µin),使用 256 倍电子分辨率扩展
  • 反射镜:10724A 或由用户提供
  • 使用的安装架座:10711A
  • 参考:无
  • 可调谐配置:有。 需要选件 001

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10716A High-Resolution Interferometer

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