特点

  • 光束
    • 直径:6 mm(0.24 英寸)
    • 间距:11 mm(0.43 英寸)
  • 分辨率
    • 基本光学:λ/2(316.5 nm,12.5 µin)
    • 系统分辨率:
       - λ/64(10 nm,0.4 µin),使用 32 倍电子分辨率扩展 
       - λ/512(1.2 nm,0.047 µin),使用 256 倍电子分辨率扩展
  • 重量:312 g(11 盎司)
  • 需要的反射器:10767A
  • 使用的安装架座:10785A

Keysight 10766A 线性干涉仪适用于一般的单轴测量;也可以用于干涉仪是运动部件(而不是测量反射器)的应用。 它配有坚固、耐热的不锈钢外壳。

在光学结构上与 10702A 选件 001 相同, 但 10766A 配有更坚固的外壳和公制螺纹。

10766A 需要一个 10767A 线性反射器作为参考反射器使用。 完整的线性测量光纤套件还包含另一个 10767A 或更轻巧的 10703A(注意,55280B 线性测量套件包含所需的全部光器件以及安装硬件)。 干涉仪可以用于使光束转向。 它无需经过任何修改,便可用作运动元件。

进行差分操作时,需要去掉 10767A 线性反射器,并将其连接到指定的参考面。

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主要技术指标

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