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硅光子学晶圆测试系统

NX5402A硅光子学晶圆测试系统配备全自动晶圆探针台，提供批量生产测试所需的全部功能，例如晶圆级测试（WAT）或工艺控制监控（PCM）测试。

产品图片

  • 其他特性

    单次通过的光学与电气测试

  • 最大测量引脚数

    12（光纤输入），12（光纤输出），30（电信号）

  • 最小电压测量分辨率

    不适用

  • 最小电流测量分辨率

    不适用

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关键性能

  • 具备光电测试功能的全自动晶圆探针台一体化解决方案
  • 针对复杂且大规模的光学与电气测量实现自动化单次测试
  • 具备量产就绪能力，支持SECS /GEM工厂自动化 、安全联锁及洁净室就绪功能
  • 通过 优化光纤对准与多通道光电测试架构实现高吞吐量测试
  • 是德科技的进阶 子校准技术，确保系统性能
  • 专属支持模式，确保生产环境的高系统可用性
  • 是德科技开发的纤维对准与定位系统
  • 领先的PathWave 测试软件，集成是德科技SPECS
  • 通过内置自动系统诊断实现可靠的性能监控
  • 自动化多配方执行软件，支持多个配方以批处理模式运行

服务 支持