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cog 技术总览

使用适用于 A-LFNA 和 WGFMU 的一站式测量驱动程序和测量例程，可以自动执行晶圆级低频噪声测量。

特点

W7802B PathWave WaferPro A-LFNA 测量与编程软件包括：

  • 与 PathWave WaferPro 测量平台无缝集成
  • 先进的数据显示和分析功能，支持噪声数据比较和偏置电流建模
  • 可自动控制所有主流的晶圆探测系统
  • A-LFNA 模块具有直流测量、1/f 噪声、随机电报噪声（RTN）和数据分析等功能
  • 灵活的硬件平均功能，可权衡吞吐量与准确度
  • 多种内置偏置方案，适用于闪变噪声的表征
  • 测量数据与是德科技器件建模软件兼容
  • 提供引导式系统校准程序
  • 支持 PEL 和 Python 测量例程语言
  • 用于 RTN 的 Ton 和 Toff 分析

先进低频噪声分析仪（A-LFNA）软件和用户界面建立在 PathWave WaferPro 测量平台之上。 工程师现在可以在一个灵活、可扩展的测量系统中管理和自动执行完整的晶圆级表征。 与以前一样，使用 PathWave WaferPro 的工程师可以通过编程排序和执行高速直流、电容和射频参数测量，同时自动控制晶圆探针台。 现在，随着噪声测量模块的推出，他们能将噪声测量和分析功能添加到测试套件中。

A-LFNA 内置的测量例程可一站式执行直流和噪声测量。 例如，为了测量 N 型 MOSFET 上的噪声，系统会自动选择源阻抗和负载阻抗，以便更好地展现器件固有的噪声。 工程师既可以采取这些建议的设置，也可以更改设置，然后执行噪声测量。 随后，A-LFNA 会在时域（RTN）中对噪声功率谱密度（1/f 噪声）和噪声进行测量。 得到的数据可以在“多图”数据显示窗口中以图形方式显示。 多个不同的窗口选项卡方便用户执行常规任务，例如评测器件的直流工作点，以及测量功率谱密度曲线的斜率。

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