光输出功率。其它考虑因素有尺寸、散热和输入功率要求。选择哪种激光器主要决定于应用。例如半导体印刷系统通常有较快的运动部件(平板),因此需要有比机床应用更高的速度。

激光头与相应光学元件及系统电路构成激光干涉计系统,以适应各种应用的物理布局和测量要求。我们能帮助您建造定制位置的测量系统,以改进产品质量,增加产出,并便于精密产品的制造。

根据下面的表格选择激光头。对于所有激光头的公共特性,请参看下面的表格。如果需要不同的速度、参考频率或光束直径,请与我们联系。

所有激光头都具有如下特性:

  • 类型: 氦—氖,连续波输出,2个频率(外差)
  • 极化: f1, 较低频率,水平方向;f2, 较高频率,垂直方向, f1 和 f2 之差是参考频率。见下表。
  • 光束输出功率: 180 uW 最小值,1 mW 最大值(5517B 为120 uW 最小值,1 mW 最大值)。可用更高的功率计,请与我们联系。
  • 光束直径: 6 mm (0.25 in) 标准。也可提供 3 mm 和 9 mm 。
  • 波长: 632.9913720 nm (标称值,真空中)
  • 波长精度: ± 0.1 ppm (真空, 3 sigma, 寿命期内). ± 0.02 工厂按 MIL-STD 45663 校准
  • 波长稳定度: ± 0.002 ppm,1 小时 (典型值,真空), ± 0.02 ppm寿命期内(真空)
  • 测量范围: 40 m (130 feet) ,所有轴之和
  • 预热时间: <10 分钟 (4 分钟,典型值)
  • 安全类别: II类激光产品,符合美国国家设备和放射性健康中心法规21 CFR 1040.10 和 1040.11
  • MTBF: > 50,000 小时,典型值
  • 磁场强度: <= 5.25 milliGauss ,离包装激光头表面任何点的距离为4.6 m (15 ft) (由于不工作真空管周围存在永磁铁)
  • 输入功率要求: +15V ± 0.3V ,最大 2.2A;-15V ± 0.3V最大0.02A,5519A/B 使用交流功率输入,详情见产品网页。
  • 散热: 23W ,工作; 35W,预热; 5519A/B 工作为33W;预热为50W 。
  • 电缆所需空间: 仪器后面板外12.00 cm (4.72 in); 5519A/B 为10.00 cm (4 in)。
  • 保修期: 3 年

以“L”结尾的激光头产品型号(如5517BL)有如下附加特性:

  • 通风: 允许通强制冷风,以减小至应用对象的散热。

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