如何实现硅光子学晶圆级功率扫描的自动化

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硅光子学晶圆的功率扫描

硅光子器件的晶圆级测试需要对传输至每个测试点的光功率进行精确控制和验证。光探测器、调制器和无源波导等器件对输入功率、波长和偏振具有很强的敏感性，而光栅耦合器的效率、光纤对准以及工艺波动会在整个晶圆上导致各测试点之间存在显著的差异。

为了准确提取插入损耗、响应度、饱和特性及灵敏度阈值等参数，工程师必须控制波长，将光偏振与波导模式对准，并验证实际传输至被测器件的光功率。自动光功率扫描工作流程可在晶圆探针台环境中，对数千个芯片进行一致且可重复的测量。

硅光子学晶圆级光功率扫描解决方案

要实现精确的晶圆级光功率扫描，必须对被测器件的波长、偏振和光功率进行协调控制。是德科技的晶圆级光功率扫描解决方案将可调谐激光器与偏振控制及经校准的光功率测量相结合，可在晶圆级测试环境中提供可重复、可追溯的光输入条件。 可调谐激光器可提供波长精确的光信号，用于在工作带宽范围内对器件进行表征。偏振控制将光场对准光子器件支持的模式，确保耦合的一致性并降低测量不确定度。光功率计可验证探针接口处的输出功率，从而实现精确、可重复的光功率扫描，且不受耦合或对准变化的影响。
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